等离子刻蚀 Plasma Etching

• ICP-RIE 等离子体刻蚀机

  

  纳米结构低损伤刻蚀 

  简单高速率刻蚀 

  内置ICP等离子源 

  动态温控 

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• 经济型反应离子刻蚀机

  

  现价比高

  扩展性强

  控制软件 

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