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光谱范围：350 nm - 850 nm
可选: 280 nm - 850 nm
SE 800是采用快速二极管阵列探测器的高性能光谱椭偏仪，在紫外/可见光范围内兼具快速数据采集速度和全光谱范围分辨率。
光谱椭偏仪SE 800适用于复杂应用，比如测量玻璃上的透明薄膜，发光体和半导体聚合物薄膜，吸收/透明基底上的多层膜，窗材料的减反射膜，先进的微电子应用比如SOI，高k值和低k值材料。各向异性样品和非均匀样品也能够被分析。
主要特点
l 步进扫描分析器工作方式，对较低光强也同样有效
l 消色差补偿器在整个0-360度范围内都可极准确和精确地测量出椭偏角度。能够分析偏振因数和补偿退偏效应
l 起偏器跟踪技术可以为每一种应用都提供最高的测量精度
l 自动对准镜用于样品倾斜度调节，显微镜用于样品高度调节，能够提供最高的样品对准精度
l 高稳定性的操作，所有硬件操作由其内置的微控制器分别控制，基于Windows XP系统的最新型电脑
l SpectraRay II – 功能强大的光谱椭偏仪软件
主要应用
l 测量单层膜或多层膜的厚度和折射率
l 在紫外-可见光波段测量材料的光学性质
l 测量厚度梯度
l 测量膜表面和界面间的粗糙程度
l 确定材料成分
l 分析薄金属膜
l 分析各向异性材料和薄膜
l CER – 结合椭偏测量和反射测量
l CET – 结合椭偏测量和透射测量
l 紫外扩展选项 280 - 850 nm
l 计算机控制角度计，40º-90º, 可选 20º-90º ，精度0.01º
l 手动x-y载物台，150 mm行程
l 电机驱动x-y载物台，行程50 mm - 200 mm
l MWAFER- SENTECH地貌图扫描软件
l 透射测量样品夹具
l 摄象头选项，用于样品对准和表面检测
l 液体膜测量单元
l 反射式膜厚仪FTPadvanced, 光斑直径80微米
l 微细光斑选项，光斑直径200微米，可选: 100微米
l 自动对焦选项，结合地貌图扫描选项
l SENTECH标准样片
l 附加许可，使SpectrRay II软件可以用于多台电脑 |
