碳化硅晶体生长炉 SiC Crystal Growth

Aymont目前生产和销售第一款商业型晶体生长炉，可用于量产150mm。SP-150生长炉主要将用来量产150mm SiC晶圆。

SiC量产最佳解决方案

主要特点

• 电感加热式物理气相传输SiC生长炉

• 双壁水冷石英管

• 2英寸，100mm或150mm晶圆工艺

• 高温计控制和电源控制，保证生长炉稳定运行

• 自动PLC控制、带工艺、触屏、安全互锁/警报等功能

• 远程监测和控制

• 占地空间最小的SiC生长炉

应用领域

• 电力电子（肖特基二极管/MOSFETs场效晶体管/JFETs结型场效应晶体管/IGBTs绝缘栅双极晶体管,BJTs晶体管/晶体闸流管/SiC pn结二极管）

• 功率因数补偿/太阳能逆变器/电动汽车

• 基片晶圆/GaN基HB-LEDs/显示屏/汽车/通用照明

• GaN基高频器件