Plasma Deposition Plasma Deposition

• Economical PECVD System

  

  性价比高
  

  扩展性强
  

  控制软件 

   

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• PECVD System

  

  工艺灵活 
  

  预真空室 

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• ICPECVD System

  

  高密度等离子体 

  平板ICP等离子源 
  

  优良的沉积效果

   

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